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液氩在半导体工业中用作生产高纯硅和锗晶体的保护气体;可用作系统清洗、屏蔽和增压用惰性气体;在化学气相沉积、溅射和退火等工艺中有所应用。高纯氩可用作色谱载气,也可用作大规模集成电路中混合气体的稀释气。氩被广泛用于充填弧光灯、荧光灯和电子管;焊接保护气;在钛、钴及其他活性金属的生产中用作屏蔽气;在黑色冶金中,氩气用于吹炼特种钢,以提高钢的质量,特别是不锈钢制造中消耗大量氩气。


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